檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "鈍化層".ckeyword (精準) and year="96"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究主要利用低溫、低電漿密度的UHV-PECVD系統成長太陽能電池的i層鈍化層,其材料種類有a-Si:H、a-SiOx:H、a-SiNx:H及a-SiCONx:H,並使用金屬遮罩搭配獨立腔體聯結式…